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不用EUV光刻机就搞定类7nm工艺？中芯国际回应

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不用EUV光刻机就搞定类7nm工艺？中芯国际回应

做为国内最大也是最先进的半导体制造公司，中芯国际在先进工艺上的进展引人关注，其中7nm及以下节点非常重要，这还牵涉到EUV光刻机。 ...

风君子
业界
2021-05-11
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