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媲美光学光刻，日本学者紫外硬化纳米压印实现 10 纳米以下分辨率

媲美光学光刻，日本学者紫外硬化纳米压印实现 10 纳米以下分辨率

东京理科大学（TUS）学者日前在纳米压印技术研究上取得突破，实现了紫外硬化纳米压印（UV-NIL）创建 10 纳米以下分辨率形貌的突破。 ...

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